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等離子體增強滑動式PECVD真空管式爐

瀏覽：作者：來源：時間：2019-11-05 分類：最新資訊

等離子體增強滑動式PECVD管式爐是一款滑動式PECVD系統(tǒng)。該CVD系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式真空管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機械泵機組，此PECVD系統(tǒng)主要用于：等離子誘導(dǎo)表面改性；等離子清洗；等離子聚合; 表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、等離子體化學(xué)氣相沉積類金剛石等多種薄膜，生長納米或石墨烯。與傳統(tǒng)的CVD管式爐系統(tǒng)相比，只需較低的制備溫度，滑軌式還可以快速加熱和快速冷卻。

等離子體增強滑動式PECVD管式爐是一款滑動式PECVD系統(tǒng)。該CVD系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機械泵機組，此PECVD系統(tǒng)主要用于：等離子誘導(dǎo)表面改性；等離子清洗；等離子聚合; 表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、等離子體類金剛石等多種薄膜，生長納米或石墨烯。與傳統(tǒng)的CVD管式爐系統(tǒng)相比，只需較低的制備溫度，滑軌式還可以快速加熱和快速冷卻。

等離子體化學(xué)氣相沉積PECVD系統(tǒng)以真空管式爐為主體，具有固態(tài)等離子源、分開式反應(yīng)氣體進氣系統(tǒng)，動態(tài)襯底溫控，控制真空系統(tǒng)，采用集中現(xiàn)場控制總線技術(shù)的nobody控制軟件，以及友好用戶操作界面來操作。

等離子體化學(xué)氣象沉積技術(shù)是未來先進前展性科學(xué)技術(shù)，有廣闊的發(fā)展前景。鄭州恒通爐業(yè)有限公司的可組合式等離子增強化學(xué)氣相沉積裝置是相關(guān)單位的不二選擇。

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